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二氧化锡靶材 SnO2
氧化物
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一氧化锡靶材 SnO
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铪锆合金靶材 Hf:Zr=(100-x):x wt%
合金靶材及定制
氧化铪锆靶材 HfO2:ZrO2=50:50 at%