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氧化钇锆靶材 Y2O3:ZrO2=(100-x):x wt%
氧化物
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氧化铟锡(ITO)靶材 In2O3:SnO2=90:10 wt%
氧化铟铝锡靶材 In:Al:Sn=x:y:z at%
氧化铟铝锌靶材 In:Al:Zn=x:y:z at%
二氧化锡靶材 SnO2
一氧化锡靶材 SnO
氧化锑靶材 Sb2O3
二氧化铪靶材 HfO2
氧化铪锆靶材 HfO2:ZrO2=50:50 at%
五氧化二钽靶材 Ta2O5
氧化钨靶材 WOx
氧化铋靶材 Bi2O3
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