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高纯钒靶材 V
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羟基磷灰石靶材 Ca10(PO4)6(OH)2
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氮化铝靶材 AlN
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高纯硅靶材 Si
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二氧化硅靶材 SiO2
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硅铬合金靶材 Si:Cr=(100-x):x wt%
钛酸锂靶材 Li4Ti5O12
磷酸铁锂靶材 LiFePO4